可重入制造系統的控制簡(jiǎn)介，目錄書(shū)摘

編輯推薦:    《可重入制造系統的控制》可以為從事可重入系統控制等領(lǐng)域研究的科研人員、半導體企業(yè)信息化咨詢(xún)顧問(wèn)和項目實(shí)施工程師等提供參考與幫助；也可以作為機械工程、工業(yè)工程、自化、計算機工程、管理工程等相關(guān)專(zhuān)業(yè)的研究生和高年級本科生的教材和參考書(shū)。

內容簡(jiǎn)介:    本書(shū)主要從可重入制造系統的控制體系結構、控制方法和控制性能分析方法等角度對可重入制造系統控制問(wèn)題進(jìn)行介紹。重點(diǎn)介紹可重入制造系統的分層自適應控制體系結構、分層協(xié)同控制技術(shù)、重調度控制技術(shù)、預測控制系統控制的實(shí)驗證平臺和在企業(yè)車(chē)間的信息化系統進(jìn)行介紹。實(shí)例驗證表明，本書(shū)提出的方法和技術(shù)可能效減少晶圓在制品庫存，縮短晶圓產(chǎn)品交貨期，提高半導體生產(chǎn)線(xiàn)的整體設備利用率，提高半導體企業(yè)的市場(chǎng)響應速度。<br>    本書(shū)可以為從事可重入系統控制等領(lǐng)域研究的科研人員、半導體企業(yè)信息化咨詢(xún)顧問(wèn)和項目實(shí)施工程師等提供參考與幫助；也可以作為機械工程、工業(yè)工程、自化、計算機工程、管理工程等相關(guān)專(zhuān)業(yè)的研究生和高年級本科生的教材和參考書(shū)。

作者簡(jiǎn)介:

目錄:前言<br>第1章 緒論<br>1.1 制造系統<br>1.1.1 制造系統的概念<br>1.1.2 柔性制造系統<br>1.1.3 敏捷制造系統<br>1.1.4 網(wǎng)絡(luò )化制造系統<br>1.1.5 可重入制造系統<br>1.2 制造系統的信息化<br>1.2.1 信息化<br>1.2.2 制造系統作息化的定義與特點(diǎn)<br>1.2.3 制造系統的信息模型<br>1.2.4 可重入制造系統的信息化模型<br>1.3 制造系統的控制<br>1.3.1 制造系統控制的目的及意義<br>1.3.2 制造系統的控制體系結構<br>1.3.3 制造系統的控制方法<br>1.3.4 制造系統控制的性能分析方法<br>1.3.5 可重入制造系統的控制<br>1.4 本書(shū)的主要內容<br>1.5 本章小結<br>參考文獻<br><br>第2章 半導體制造系統介紹<br>2.1 概述<br>2.2 半導體制造產(chǎn)業(yè)的戰略意義<br>2.3 半導體制造系統工藝<br>2.3.1 半導體單晶硅片制備工藝<br>2.3.2 半導體制造前道工藝<br>2.3.3 半導體制造后道工藝<br>2.3.4 可重入制造系統的工藝范圍<br>2.4 半導體制造系統的組成及特點(diǎn)<br>2.4.1 半導體制造系統的構成<br>2.4.2 半導體制造系統的特點(diǎn)<br>2.5 可重入制造系統控制的需求<br>2.6 本章小結<br>參考文獻<br><br>第3章 可重入制造系統的分層自適應控制系結構<br>3.1 概述<br>3.2 可重入制造系統的控制體系結構研究現狀<br>3.2.1 集中式控制體系結構<br>3.2.2 遞階式控制體系結構<br>3.2.3 分布式控制體系結構<br>3.3 可重入制造系統的分層適應控制機制<br>3.3.1 可重入制造系統的控制功能<br>3.3.2 可重入制造系統的控制機制<br>3.4 可重入制造系統的分層自適應控制體系結構<br>3.4.1 可重入制造系統控制體系結構構成<br>3.4.2 可重入制造系統控制體系結構的特點(diǎn)<br>3.5 本章小結<br>參考文獻<br><br>第4章 可重入制造系統控制方法基礎<br>4.1 概述<br>4.2 運籌學(xué)<br>4.2.1 概述<br>4.2.2 運籌學(xué)在RMS中的應用<br>4.3 啟發(fā)式規則<br>4.3.1 概述<br>4.3.2 啟發(fā)式規則在RMS中的應用<br>4.4 人工智能方法<br>4.4.1 人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò )<br>4.4.2 模糊邏輯<br>4.4.3 基于A(yíng)gent的方法<br>4.4.4 人工智能方法在RMS中的應用<br>4.5 計算智能方法<br>4.5.1 概述<br>4.5.2 遺傳算法<br>4.5.3 計算智能方法在RMS中的應用<br>4.6 群體智能方法<br>4.6.1 概述<br>4.6.2 螞蟻算法<br>4.6.3 群體智能方法在RMS中的應用<br>4.7 仿真方法<br>4.7.1 概述<br>4.7.2 仿真方法分類(lèi)<br>4.7.3 仿真建模理論<br>4.7.4 仿真建模軟件<br>4.7.5 仿真方法在RMS中的應用<br>4.8 本章小結<br>參考文獻<br><br>第5章 可重入制造系統的分層協(xié)同控制技術(shù)<br>5.1 概述<br>5.2 系統層協(xié)同控制技術(shù)<br>5.2.1 系統層控制問(wèn)題描述<br>5.2.2 系統層協(xié)同控制Agent模型<br>5.2.3 基于組合拍賣(mài)的協(xié)同控制算法<br>5.3 設備組層協(xié)同控制技術(shù)<br>5.3.1 設備組層控制問(wèn)題描述<br>5.3.2 設備組層協(xié)同控制Agent模型<br>5.3.3 基于GPGP-CN的協(xié)同控制算法<br>5.4 實(shí)例分析<br>5.4.1 系統層協(xié)同控制實(shí)例分析<br>5.4.2 設備層協(xié)同控制實(shí)例分析<br>5.5 本章小結<br>參考文獻<br><br>第6章 可重入制造系統的重調度控制技術(shù)<br>6.1 概述<br>6.2 重調度控制研究現狀分析<br>6.3 重調度控制問(wèn)題分析<br>6.3.1 干擾分析<br>6.3.2 重調度控制策略<br>6.3.3 重調度控制策略評價(jià)指標<br>6.4 基于FNN的重調度控制技術(shù)<br>6.4.1 FNN的輸入層變量描述<br>6.4.2 FNN的結構<br>6.4.3 學(xué)習算法<br>6.5 實(shí)例分析<br>6.6 本章小結<br>參考文獻<br><br>第7章 可重入制造系統的預測控制技術(shù)<br>7.1 概述<br>7.2 常用預測技術(shù)<br>7.2.1 自回歸模型預測方法<br>7.2.2 混沌預測方法<br>7.3 可重入制造系統日產(chǎn)出預測問(wèn)題<br>7.3.1 可重入制造系統日產(chǎn)出預測問(wèn)題描述<br>7.3.2 可重入制造系統日產(chǎn)出預測系統框架<br>7.4 基于遺傳小波神經(jīng)網(wǎng)絡(luò )的預測<br>7.4.1 基于遺傳小波神經(jīng)網(wǎng)絡(luò )的預測模型<br>7.4.2 基于遺傳小波神經(jīng)網(wǎng)絡(luò )的學(xué)習算法<br>7.4.3 預測算法評價(jià)指標<br>7.4.4 預測算法的實(shí)例分析<br>7.5 基于相空間重構和螞蟻-神經(jīng)網(wǎng)絡(luò )的預測<br>7.5.1 基于相空間重構的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò )預測模型<br>7.5.2 基于相空間重構的螞蟻神經(jīng)網(wǎng)絡(luò )學(xué)習算法<br>7.5.3 預測算法的實(shí)例分析<br>7.6 預測控制機制<br>7.6.1 預測控制問(wèn)題描述<br>7.6.2 基于產(chǎn)出量和WIP預測的控制機制<br>7.6.3 基于循環(huán)周期預測的控制機制<br>7.7 本章小結<br>參考文獻<br><br>第8章 可重入制造系統的物流控制技術(shù)<br>8.1 概述<br>8.2 可重入制造系統中的物流系統<br>8.2.1 AMHS系統概述<br>……<br>第9章 可重入制造系統的性能分析技術(shù)<br>第10章 可重入制造系統的試驗平臺<br>第11章 半導體制造系統控制軟件及應用<br>參考文獻