本書(shū)系統地介紹了如何將傳熱學(xué)知識應用到微電子系統的散熱設計與管理中,重點(diǎn)闡述了熱工程師解決熱問(wèn)題的工程邏輯,引導讀者由淺入深地完成學(xué)習。全書(shū)共分8章。前3章介紹傳熱學(xué)的基本知識,通過(guò)繪制熱圖像的方式引導讀者理解導熱微分方程背后的物理意義。第4、5章講述如何從定性熱分析過(guò)渡到半定性半定量分析,即采用熱阻網(wǎng)絡(luò )的方法分析微電子工程、工藝中的熱問(wèn)題。第6章介紹有限元方法的特點(diǎn)以及如何開(kāi)展正確的數值分析。第7章介紹常見(jiàn)的熱測量方法。第8章介紹非穩態(tài)導熱問(wèn)題。
本書(shū)適用于本科生、研究生階段的教學(xué),適用專(zhuān)業(yè)包括微電子技術(shù)、電子封裝技術(shù)、微機電工程等與微電子制造相關(guān)的專(zhuān)業(yè)。