MEMS與微系統:設計、制造及納尺度工程(第二版)簡(jiǎn)介，目錄書(shū)摘
同時(shí)從電子與機械兩個(gè)層面介紹MEMS的相關(guān)技術(shù)。
更大篇幅地介紹了微加工技術(shù)以及組裝與封裝技術(shù)。
介紹了微陀螺、微型麥克風(fēng)與熱管的原理。
作者在本書(shū)中首先對納米技術(shù)的發(fā)展歷史做了一個(gè)簡(jiǎn)要的回顧，然后對各種納米結構在工程設計方面的基本原理做了詳細的介紹，包括形成納米結構的制造技術(shù)、基于分子動(dòng)力學(xué)的工程設計原理以及納尺度材料中的流體流動(dòng)與熱傳導特性等。
許軍，男，研究員，清華大學(xué)微電子學(xué)研究所所長(cháng)。1963年6月生于安徽合肥，1986年畢業(yè)于清華大學(xué)無(wú)線(xiàn)電電子學(xué)系半導體器件與物理專(zhuān)業(yè)，獲工學(xué)學(xué)士學(xué)位，后分別于1989年和1994年在航天工業(yè)部771研究所計算機器件與設備專(zhuān)業(yè)獲工學(xué)碩士學(xué)位和工學(xué)博士學(xué)位，1994年至1996年在清華大學(xué)微電子學(xué)研究所電子學(xué)與通信博士后科研流動(dòng)站從事超大規模集成電路工藝技術(shù)的基礎研究工作，1997年在清華大學(xué)微電子學(xué)研究所晉升為副研究員，1997至1999年在美國新奧爾良大學(xué)先進(jìn)材料研究所固體器件研究組做訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者，1999年回國后繼續在清華大學(xué)微電子學(xué)研究所集成電路開(kāi)發(fā)與工業(yè)性試驗線(xiàn)工作，2002年晉升為研究員。
徐泰然（Tai-Ran Hsu）教授主要從事微機電系統的設計、制造和封裝技術(shù)的教學(xué)與科研工作，在MEMS系統和納米系統的熱力學(xué)及有限元和CAD技術(shù)方面的研究取得了具有國際影響的學(xué)術(shù)成績(jì)，先后出版了《MEMS 封裝技術(shù)》、《MEMS與微系統的設計和制造》5本專(zhuān)著(zhù)，編著(zhù)2本著(zhù)作。在“Advances in Electronic Packaging”、“Semiconductor International”和“Sensors and Actuators”等學(xué)術(shù)刊物上發(fā)表了學(xué)術(shù)論文120多篇，并多次被邀請在微納米技術(shù)和微機電技術(shù)國際會(huì )議上作大會(huì )報告，在國際微納米技術(shù)領(lǐng)域享有很高的學(xué)術(shù)聲譽(yù)。特別是在MEMS技術(shù)的教育方面做出了很大的貢獻。
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